저온 스퍼터증착법을 이용한 플렉서블 적층 저항변화 메모리의 제작 및 특성 연구

제목
저온 스퍼터증착법을 이용한 플렉서블 적층 저항변화 메모리의 제작 및 특성 연구
저자
Kim, Sangsig
학회명
제19회 한국반도체학술대회
개최국가
대한민국
학회 개최일
2012-02-15 ~ 2012-02-17