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반도체용 단결정 실리콘 웨이퍼의 기계적 강도 분포 및 파괴특성

  • Donghwan KIM
제목
반도체용 단결정 실리콘 웨이퍼의 기계적 강도 분포 및 파괴특성
저자
Donghwan KIM
학회명
2010년도 한국재료학회 추계학술발표대회 및 제19회 신소재 심포지엄
개최국가
대한민국
학회 개최일
2010-11-11 ~ 2010-11-12

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