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Microemulsion 방법을 이용한 CMP용 SiO2 나노 연마 입자의 제조

  • Kwan Young Lee
제목
Microemulsion 방법을 이용한 CMP용 SiO2 나노 연마 입자의 제조
저자
Kwan Young Lee
학회명
8th Annual Meeting of the Applied Rheology Center
개최지
서울
개최국가
대한민국
학회 개최일
2008-02-12 ~ 2008-02-12

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