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광액화 기반 초고해상도 EUV & 2D/3D 반도체 리소그래피 기술
광액화 기반 초고해상도 EUV & 2D/3D 반도체 리소그래피 기술
- 제목
- 광액화 기반 초고해상도 EUV & 2D/3D 반도체 리소그래피 기술
- 제목 (타언어)
- 광액화 기반 초고해상도 EUV & 2D/3D 반도체 리소그래피 기술
- 저자
- Seungwoo Lee
- 발행일
- 2025-10-21
- 학회명
- AI 융합 기술매칭 Connect Day
- 개최국가
- 대한민국
- 학회 개최일
- 2025-10-21 ~ 2025-10-21