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Thermal Nanoimprint Lithography on thermoset polymer using highly durable nikel mold
- 제목
- Thermal Nanoimprint Lithography on thermoset polymer using highly durable nikel mold
- 저자
- Lee, Heon
- 학회명
- 2006 제13회 한국반도체학술대회
- 개최지
- 제주도
- 학회 개최일
- 2006-02-23 ~ 2006-02-24