Thermal Nanoimprint Lithography on thermoset polymer using highly durable nikel mold

제목
Thermal Nanoimprint Lithography on thermoset polymer using highly durable nikel mold
저자
Lee, Heon
학회명
2006 제13회 한국반도체학술대회
개최지
제주도
학회 개최일
2006-02-23 ~ 2006-02-24