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증착된 TiN 박막의 TEM/XPS 연구

  • LEE, SEONG RAE
제목
증착된 TiN 박막의 TEM/XPS 연구
저자
LEE, SEONG RAE
학회명
국내·외 과학자 학술회의 논문집
개최지
국내·외 과학자 학술회의 논문집
학회 개최일
1985-12-01

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