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원자층 증착법을 이용한 투명폴리이미드 기반 AZO 전극의 전기적-기계적 반응특성 연구
A Study of Electrical-Mechanical Characteristic of AZO Deposited on Transparent Polyimide Film Using Atomic Layer Deposition
- 제목
- 원자층 증착법을 이용한 투명폴리이미드 기반 AZO 전극의 전기적-기계적 반응특성 연구
- 제목 (타언어)
- A Study of Electrical-Mechanical Characteristic of AZO Deposited on Transparent Polyimide Film Using Atomic Layer Deposition
- 저자
- Byoung-Ho Choi
- 발행일
- 2016-05-12
- 학회명
- 2016 한국정밀공학회 춘계학술대회
- 개최국가
- 대한민국
- 학회 개최일
- 2016-05-11 ~ 2016-05-13