Formation of Nanochannels Fabricated by Atiomic Layer Deposition Using a Carbon Nanotube Mask

제목
Formation of Nanochannels Fabricated by Atiomic Layer Deposition Using a Carbon Nanotube Mask
저자
Han, Chang-Soo
학회명
2013년도 대한기계학회 마이크로/나노공학부분 춘계학술대회
개최국가
대한민국
학회 개최일
2013-05-23 ~ 2013-05-24