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Formation of Nanochannels Fabricated by Atiomic Layer Deposition Using a Carbon Nanotube Mask
- 제목
- Formation of Nanochannels Fabricated by Atiomic Layer Deposition Using a Carbon Nanotube Mask
- 저자
- Han, Chang-Soo
- 학회명
- 2013년도 대한기계학회 마이크로/나노공학부분 춘계학술대회
- 개최국가
- 대한민국
- 학회 개최일
- 2013-05-23 ~ 2013-05-24