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단일전구체를 이용한 SiCN 나노와이어의 성장

제목
단일전구체를 이용한 SiCN 나노와이어의 성장
저자
BYUN, Dong Jin
학회명
2004년도 대한금속재료학회 추계학술대회
개최지
부산전시컨벤션센터
학회 개최일
2004-10-21 ~ 2004-10-22

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