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PECVD 공정에 의해 제작된 SION박막 특성 분석

PECVD 공정에 의해 제작된 SION박막 특성 분석
  • PARK, JUNG HO
제목
PECVD 공정에 의해 제작된 SION박막 특성 분석
제목 (타언어)
PECVD 공정에 의해 제작된 SION박막 특성 분석
저자
PARK, JUNG HO
발행일
2011-01-02
학회명
한국진공학회 제40회 정기 동계학술대회
개최국가
대한민국
학회 개최일
2011-02-09 ~ 2011-02-11

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