실리콘 기판 위에 세륨 산화물 완충층을 이용한 갈륨 질화물 성장 특성 연구

제목
실리콘 기판 위에 세륨 산화물 완충층을 이용한 갈륨 질화물 성장 특성 연구
저자
Kim, Taegeun
학회명
한국진공학회 제 33회(2007년 하계) 정기학술대회