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GaN박막 성장을 위한 사파이어 기판의 활성화 이온 (N2+) 빔 (Reactive Ion Beam)처리에 따른 계면변화 분석

제목
GaN박막 성장을 위한 사파이어 기판의 활성화 이온 (N2+) 빔 (Reactive Ion Beam)처리에 따른 계면변화 분석
저자
BYUN, Dong Jin
학회명
‘98추계 한국전자현미경학회
개최지
연세대학교
학회 개최일
1998-11-06 ~ 1998-11-07

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