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Si3N4 보호막 처리된 GaN의 급속 열처리 효과

제목
Si3N4 보호막 처리된 GaN의 급속 열처리 효과
저자
BYUN, Dong Jin
학회명
제9회 한국반도체학술대회 개요집
개최지
제9회 한국반도체학술대회 개요집
학회 개최일
2002-02-21

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