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Hot water oxidation을 이용한 실리콘 표면층의 불순물 농도 조절

  • Donghwan KIM
제목
Hot water oxidation을 이용한 실리콘 표면층의 불순물 농도 조절
저자
Donghwan KIM
학회명
2009년도 한국재료학회 춘계학술발표대회 및 제16회 신소재 심포지엄
개최지
무주
개최국가
대한민국
학회 개최일
2009-05-21 ~ 2009-05-22

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