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이온주입된 Si(111)에 AlN 완충층을 이용하여 서장시킨 GaN박막의 특성

제목
이온주입된 Si(111)에 AlN 완충층을 이용하여 서장시킨 GaN박막의 특성
저자
BYUN, Dong Jin
학회명
2003년도 한국재료학회 추계 학술발표대회
개최지
연세대학교
학회 개최일
2003-11-21 ~ 2003-11-21

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