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Ta기판위에 탄화처리와 규화처리를 하여 형성된 TaSi2-Si3N4 나노복합코팅의 미세구조

  • KWUN, Sook In
제목
Ta기판위에 탄화처리와 규화처리를 하여 형성된 TaSi2-Si3N4 나노복합코팅의 미세구조
저자
KWUN, Sook In
학회명
대한금속재료학회 추계학술대회
학회 개최일
2007-11-04 ~ 2007-11-05

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