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CMOS Well의 Ion implantation 공정조건에 따른 Latchup 면역성 모의 실험

  • Yung-Kwon Sung
제목
CMOS Well의 Ion implantation 공정조건에 따른 Latchup 면역성 모의 실험
저자
Yung-Kwon Sung
학회명
대한전기학회 하계학술대회
개최지
대한전기학회 하계학술대회
학회 개최일
1996-07-23

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