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Magnetron rf-sputtering에 의해 증착된 nc-Si 및 a-Si 박막에 관한 연구

  • Jonghun Lyou
제목
Magnetron rf-sputtering에 의해 증착된 nc-Si 및 a-Si 박막에 관한 연구
저자
Jonghun Lyou
학회명
한국물리학회회보
개최지
한국물리학회회보
학회 개최일
2000-04-27

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