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원자층 증착법으로 제작된 ZnO 박막이 Al 도핑 된 ZnO-TCO 박막에 미치는 영향

제목
원자층 증착법으로 제작된 ZnO 박막이 Al 도핑 된 ZnO-TCO 박막에 미치는 영향
저자
BYUN, Dong Jin
학회명
제 15회 한국 반도체 학술 대회
개최지
강원도, 보광 휘닉스파크
개최국가
대한민국
학회 개최일
2008-02-20 ~ 2008-02-22

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