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Influence of Annealing Temperature and Time on HfZrO Ferro-Capacitor
Influence of Annealing Temperature and Time on HfZrO Ferro-Capacitor
- 제목
- Influence of Annealing Temperature and Time on HfZrO Ferro-Capacitor
- 제목 (타언어)
- Influence of Annealing Temperature and Time on HfZrO Ferro-Capacitor
- 저자
- LEE Jae Woo
- 발행일
- 2022-01-25
- 학회명
- 제 29회 한국 반도체학술대회
- 개최국가
- 대한민국
- 학회 개최일
- 2022-01-24 ~ 2022-01-26