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비휘발성 기억소자를 위한 Pt/SiBi2Nb2O9/Al2O3/Si 구조의 특성에 미치는 Al2O3 완충층의 효과

  • CHOI, In-Hoon
제목
비휘발성 기억소자를 위한 Pt/SiBi2Nb2O9/Al2O3/Si 구조의 특성에 미치는 Al2O3 완충층의 효과
저자
CHOI, In-Hoon
발행일
2005-02-01
학회명
한국진공학회

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