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생체 삽입형 진단소자용 2층 구조의 저전압 마이크로 미러

  • Pak, James Jungho
제목
생체 삽입형 진단소자용 2층 구조의 저전압 마이크로 미러
저자
Pak, James Jungho
학회명
제 7회 한국 MEMS 학술대회
개최지
제주 KAL 호텔
학회 개최일
2005-04-07 ~ 2005-04-09

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