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습식 에칭된 Si 표면에 증착된 SixNy 박막의 특성 평가

제목
습식 에칭된 Si 표면에 증착된 SixNy 박막의 특성 평가
저자
Ju, Byeongkwon
학회명
제2회 한국 반도체 학술대회
학회 개최일
1995-01-10 ~ 1995-01-10

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