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MELO-Si 가속도 센서의 제작과 반응에 관한 연구

  • Pak, James Jungho
제목
MELO-Si 가속도 센서의 제작과 반응에 관한 연구
저자
Pak, James Jungho
발행일
1995-01-01
학회명
대한전기학회 MEMS연구회 학술발표회
개최국가
대한민국
학회 개최일
1995-01-01 ~ 1995-01-01

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