MEMS 기술로 제작된 비냉각형 적외선 센서

  • CHOI, In-Hoon
제목
MEMS 기술로 제작된 비냉각형 적외선 센서
저자
CHOI, In-Hoon
발행일
2004-11-01
학회명
한국재료학회