상세 보기
플라즈마 증착법으로 증착한 나이트라이드 막의 내부 결합 밀도 비에 따른 수소 패시베이션 효과 비교
플라즈마 증착법으로 증착한 나이트라이드 막의 내부 결합 밀도 비에 따른 수소 패시베이션 효과 비교
- 제목
- 플라즈마 증착법으로 증착한 나이트라이드 막의 내부 결합 밀도 비에 따른 수소 패시베이션 효과 비교
- 제목 (타언어)
- 플라즈마 증착법으로 증착한 나이트라이드 막의 내부 결합 밀도 비에 따른 수소 패시베이션 효과 비교
- 저자
- Kang Yoon Mook
- 발행일
- 2016-11-17
- 학회명
- 한국재료학회 추계학술대회
- 개최국가
- 대한민국
- 학회 개최일
- 2016-11-15 ~ 2016-11-18