RF-마그네트론 스퍼터링에 의해 형성된 nc-Si의 구조적 특성에 따른 크기 및 분포조사

  • Jonghun Lyou
제목
RF-마그네트론 스퍼터링에 의해 형성된 nc-Si의 구조적 특성에 따른 크기 및 분포조사
저자
Jonghun Lyou
학회명
한국물리학회