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기판 바이어스 변화에 따른 BN박막의 미세구조와 응력변화

  • CHOI, In-Hoon
제목
기판 바이어스 변화에 따른 BN박막의 미세구조와 응력변화
저자
CHOI, In-Hoon
발행일
2001-11-02

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