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ALD 공정을 이용한 폴리카보네이트 기판의 Zinc Oxide 박막 특성분석
Characterization of ZnO Film Deposited on Polycarbonate by ALD Process
- 제목
- ALD 공정을 이용한 폴리카보네이트 기판의 Zinc Oxide 박막 특성분석
- 제목 (타언어)
- Characterization of ZnO Film Deposited on Polycarbonate by ALD Process
- 저자
- Byoung-Ho Choi
- 발행일
- 2014-05-14
- 학회명
- 한국정밀공학회 2014년도 춘계학술대회
- 개최국가
- 대한민국
- 학회 개최일
- 2014-05-14 ~ 2014-05-16