DLC-coated knife-edge field emitter arrays on (110) Si wafer

제목
DLC-coated knife-edge field emitter arrays on (110) Si wafer
저자
Ju, Byeongkwon
학회명
제3회 한국 반도체 학술대회 논문집
학회 개최일
1996-02-12 ~ 1996-12-14