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플라즈마 CVD로 제작한 게이트 물질 SiOxNy 박막의 전기적 특성

  • Sung, Man Young
제목
플라즈마 CVD로 제작한 게이트 물질 SiOxNy 박막의 전기적 특성
저자
Sung, Man Young
학회명
8th Korean Conference on Semiconductor
개최지
8th Korean Conference on Semiconductor
학회 개최일
2001-02-14

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