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Growth Behavior of AlN buffer Layer by Reactive RF Magnetron Sputtering on Patterned Sapphire Substrate
Growth Behavior of AlN buffer Layer by Reactive RF Magnetron Sputtering on Patterned Sapphire Substrate
- 제목
- Growth Behavior of AlN buffer Layer by Reactive RF Magnetron Sputtering on Patterned Sapphire Substrate
- 제목 (타언어)
- Growth Behavior of AlN buffer Layer by Reactive RF Magnetron Sputtering on Patterned Sapphire Substrate
- 저자
- BYUN, Dong Jin
- 발행일
- 2014-05-15
- 학회명
- 2014년도 한국재료학회 춘계학술대회 및 제26회 신소재 심포지엄
- 개최국가
- 대한민국
- 학회 개최일
- 2014-05-15 ~ 2014-05-16