상세 보기
B4C타겟을 이용한 d.c. 비대칭 마그네트론 스퍼터링으로 증착한 입방정 질화붕소(cBN)의 증착 거동
B4C타겟을 이용한 d.c. 비대칭 마그네트론 스퍼터링으로 증착한 입방정 질화붕소(cBN)의 증착 거동
- 제목
- B4C타겟을 이용한 d.c. 비대칭 마그네트론 스퍼터링으로 증착한 입방정 질화붕소(cBN)의 증착 거동
- 제목 (타언어)
- B4C타겟을 이용한 d.c. 비대칭 마그네트론 스퍼터링으로 증착한 입방정 질화붕소(cBN)의 증착 거동
- 저자
- Huh, Joo Youl
- 발행일
- 2018-04-27
- 학회명
- 2018 대한금속재료학회 춘계학술대회,
- 개최국가
- 대한민국
- 학회 개최일
- 2018-04-25 ~ 2018-04-27