High Quality Nano Structured Single Gas Barrier Layer by Neutral Beam Assisted Sputtering (NBAS) Process

제목
High Quality Nano Structured Single Gas Barrier Layer by Neutral Beam Assisted Sputtering (NBAS) Process
저자
Hong MunPyo
발행일
2012-08-21
학회명
제 43회 한국진공학회 하계정기학술대회
개최지
라마다 프라자 제주호텔
개최국가
대한민국
학회 개최일
2012-08-20 ~ 2012-08-22