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표면 마이크로머시닝 기술을 사용한 새로운 형태의 압전박막공진기

제목
표면 마이크로머시닝 기술을 사용한 새로운 형태의 압전박막공진기
저자
Ju, Byeongkwon
학회명
제2회 MEMS 학술대회 논문집
개최지
제2회 MEMS 학술대회 논문집
학회 개최일
2000-04-01

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