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Thermal ALD 펄스 시간에 따른 Al2O3 패시베이션막 특성
Thermal ALD 펄스 시간에 따른 Al2O3 패시베이션막 특성
- 제목
- Thermal ALD 펄스 시간에 따른 Al2O3 패시베이션막 특성
- 제목 (타언어)
- Thermal ALD 펄스 시간에 따른 Al2O3 패시베이션막 특성
- 저자
- Kang Yoon Mook
- 발행일
- 2017-02-16
- 학회명
- 제52회 한국진공학회
- 개최국가
- 대한민국
- 학회 개최일
- 2017-02-15 ~ 2017-02-17