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Development of a High Quality Nanolaminate Single Gas Barrier Layer by Neutral Beam Assisted Sputtering (NBAS) Process
- 제목
- Development of a High Quality Nanolaminate Single Gas Barrier Layer by Neutral Beam Assisted Sputtering (NBAS) Process
- 저자
- Hong MunPyo
- 발행일
- 2011-11-28
- 학회명
- 2011 MRS Fall MEETING
- 개최국가
- 미국
- 학회 개최일
- 2011-11-27 ~ 2011-12-02