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표면 미세가공을 이용한 정전형 폴리실리콘 마이크로 컨베이어 시스템

  • Pak, James Jungho
제목
표면 미세가공을 이용한 정전형 폴리실리콘 마이크로 컨베이어 시스템
저자
Pak, James Jungho
학회명
1999 제1회 MEMS 학술대회 논문집
개최지
1999 제1회 MEMS 학술대회 논문집
학회 개최일
1999-04-17

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