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RF 스퍼터링 방법으로 증착한 HfO2 박막의 저항 변화 특성 연구

제목
RF 스퍼터링 방법으로 증착한 HfO2 박막의 저항 변화 특성 연구
저자
Kim, Sangsig
학회명
2011년 하계학술대회 논문집
개최국가
대한민국
학회 개최일
2011-06-22 ~ 2011-06-25

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