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반도체 광소자 제작을 위한 GaAs/SiNx/SiO2/Si 웨이퍼 직접 접합의 최적화

  • PARK, Jinwoo
제목
반도체 광소자 제작을 위한 GaAs/SiNx/SiO2/Si 웨이퍼 직접 접합의 최적화
저자
PARK, Jinwoo
학회명
제 12회 광전자 및 광통신 학술회의(COOC 2005)
개최지
대구, 경북
학회 개최일
2005-05-11 ~ 2005-05-13

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