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졸겔법에 의한 CMP용 CeO2-coated SiO2 연마입자 제조에 관한 연구

  • Kwan Young Lee
제목
졸겔법에 의한 CMP용 CeO2-coated SiO2 연마입자 제조에 관한 연구
저자
Kwan Young Lee
학회명
5th Annual Meeting of the Applied Rheology Center
개최지
제주 라마다 프라자제주호텔
개최국가
대한민국
학회 개최일
2005-02-03 ~ 2005-02-05

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