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Atomic Layer Deposition을 통한 Al2O3 박막의 passivation

  • Donghwan KIM
제목
Atomic Layer Deposition을 통한 Al2O3 박막의 passivation
저자
Donghwan KIM
학회명
2009년도 한국재료학회 추계학술발표대회
개최국가
대한민국
학회 개최일
2009-11-05 ~ 2009-11-06

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