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비정질 탄화규소박막에서 열처리에 따른 미세구조의 변화와 기계적 물성에 미치는 영향
비정질 탄화규소박막에서 열처리에 따른 미세구조의 변화와 기계적 물성에 미치는 영향
- 제목
- 비정질 탄화규소박막에서 열처리에 따른 미세구조의 변화와 기계적 물성에 미치는 영향
- 제목 (타언어)
- 비정질 탄화규소박막에서 열처리에 따른 미세구조의 변화와 기계적 물성에 미치는 영향
- 저자
- Huh, Joo Youl
- 발행일
- 2017-10-26
- 학회명
- 2017 대한금속재료학회 추계학술대회
- 개최국가
- 대한민국
- 학회 개최일
- 2017-10-25 ~ 2017-10-27