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초소형 광스위치 제어를 위한 Comb 액츄에이터에서의 정전용량과 구동력 모델링

  • Pak, James Jungho
제목
초소형 광스위치 제어를 위한 Comb 액츄에이터에서의 정전용량과 구동력 모델링
저자
Pak, James Jungho
학회명
1999년도 한국센서학회 종합학술대회 논문집
개최지
1999년도 한국센서학회 종합학술대회 논문집
학회 개최일
1999-11-05

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