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3-5 ㎛ 적외선 흡수체를 가진 전면 건식 식각된 서모파일과 NDIR CO2 가스 센서의 응용

  • Min Nam Ki
제목
3-5 ㎛ 적외선 흡수체를 가진 전면 건식 식각된 서모파일과 NDIR CO2 가스 센서의 응용
저자
Min Nam Ki
학회명
대한전기학회 하계학술대회
개최국가
대한민국
학회 개최일
2008-07-20 ~ 2008-07-22

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