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Nano imprint Lithography를 이용한 무잔류층 50nm패턴 형성에 관한 연구

제목
Nano imprint Lithography를 이용한 무잔류층 50nm패턴 형성에 관한 연구
저자
Lee, Heon
학회명
2006년도 한국재료학회 춘계학술발표대회
개최지
경상대학교
학회 개최일
2006-05-19 ~ 2006-05-20

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