다공질 실리콘 : 새로운 마이크로센서 및 마이크로액츄에이터 재료

  • Min Nam Ki
제목
다공질 실리콘 : 새로운 마이크로센서 및 마이크로액츄에이터 재료
저자
Min Nam Ki
학회명
한국전기화학회 1998년도 추계학술발표회 초록집
개최지
한국전기화학회 1998년도 추계학술발표회 초록집
학회 개최일
1998-10-01