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Neutral Beam assisted Chemical Vapor Deposition at Low Temperature for n-type Doped nano-crystalline silicon Thin Film
- 제목
- Neutral Beam assisted Chemical Vapor Deposition at Low Temperature for n-type Doped nano-crystalline silicon Thin Film
- 저자
- Hong MunPyo
- 학회명
- 제40회 한국진공학회 동계 정기 학술대회
- 개최국가
- 대한민국
- 학회 개최일
- 2011-02-09 ~ 2011-02-11