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초전형 적외선 센서 제작을 위한 PZT 박막 형성 및 식각 특성 평가

제목
초전형 적외선 센서 제작을 위한 PZT 박막 형성 및 식각 특성 평가
저자
Ju, Byeongkwon
학회명
대한전기학회 하계학술대회
학회 개최일
1999-07-19 ~ 1999-07-21

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