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단일전구체를 이용한 SiC 박막의 성장과 특성평가

제목
단일전구체를 이용한 SiC 박막의 성장과 특성평가
저자
BYUN, Dong Jin
학회명
세라미스트(2004년도 한국세라믹학회 추계 학술대회 연구발표회)
학회 개최일
2004-01-01 ~ 2004-01-02

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